?

早在20世紀(jì)70年代，電子皮膚的概念就已經(jīng)出現(xiàn)在很多科幻作品中。與此同時，科學(xué)家也開始對電子皮膚不斷進(jìn)行探索，因為它在智能機器人、仿生假肢、健康監(jiān)測等領(lǐng)域有巨大應(yīng)用前景。電子皮膚的基本單元是柔性應(yīng)變傳感器。然而，現(xiàn)有的應(yīng)變敏感材料，由于導(dǎo)電性差、能耗高、制作工藝復(fù)雜、成本高等缺點，極大地限制了電子皮膚的實際應(yīng)用。所以，尋找新型應(yīng)變傳感材料迫在眉睫。

金屬合金是人類最早并且至今仍在日常生活中使用最廣泛的材料之一。然而，晶體金屬合金的彈性極限范圍很小，一般金屬合金材料的彈性極限遠(yuǎn)小于新型柔性高性能應(yīng)變傳感器——非晶合金皮膚。

非晶合金皮膚是通過離子束濺射方法將ZrCuNiAl等非晶合金薄膜直接生長在柔性塑料（PC）襯底上得到的。 非晶合金傳感器柔性好（彎曲角>180?），通過對薄膜厚度的調(diào)控可以視覺上變得“透明”。對該傳感器進(jìn)行的壓阻效應(yīng)測試結(jié)果表明，非晶合金皮膚保留了金屬材料高電導(dǎo)率（>5000 S cm-1）、而且電阻與應(yīng)變之間有完美的線性關(guān)系、穩(wěn)定性好等特點。同時，與傳統(tǒng)晶態(tài)金屬材料相比，彈性范圍有很大的提高（室溫下的理論彈性極限為4.2%）。此外，該傳感器有極小的電阻溫度系數(shù)（9.04×10-6?K-1），明顯的抗菌性等特點。另外， 非晶柔性應(yīng)變傳感器制備方法簡單，制造成本低。利用非晶合金柔性應(yīng)變傳感器這些獨特性質(zhì)，有望推動電子皮膚的早日實際應(yīng)用，同時也為非晶合金材料的應(yīng)用開辟新的途徑。

?