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一、MEMS簡介
MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(Micro Electromechanical System),利用半導體制造工藝和材料,將傳感器、執(zhí)行器、機械機構、信號處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統(tǒng),其內(nèi)部結構一般在微米甚至納米量級。MEMS主要包含兩個部分:傳感器和執(zhí)行器。
與傳統(tǒng)的機械傳感器相比,MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優(yōu)點,可以滿足物聯(lián)網(wǎng)時代對于傳感器的要求。
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二、MEMS分類
MEMS 傳感器種類很多,也有多種分類方法。按其工作原理,大致可分為MEMS物理、化學和生物傳感器,其中每一種MEMS傳感器又可分為很多種小類,不同的MEMS 傳感器可以測量不同的量,實現(xiàn)不同的功能。
傳感器分類
三、國內(nèi)傳感器企業(yè)的主要布局區(qū)域
長三角區(qū)域
?以上海、無錫、南京為中心。
?逐漸形成包括熱敏、磁敏、圖像、稱重、光電、溫度、氣敏等較為完備的傳感器生產(chǎn)體系及產(chǎn)業(yè)配套。
珠三角區(qū)域
?以深圳中心城市為主。
?由附近中小城市的外資企業(yè)組成以熱敏、磁敏、超聲波、稱重為主的傳感器產(chǎn)業(yè)體系。
東北地區(qū)
?以沈陽、長春、哈爾濱為主。
?主要生產(chǎn)MEMS力敏傳感器、氣敏傳感器、濕敏傳感器。
京津區(qū)域
?主要以高校為主。
?從事新型傳感器的研發(fā),在某些領域填補國內(nèi)空白。北京已建立微米/納米國家重點實驗室。
中部地區(qū)
?以鄭州、武漢、太原為主。
?產(chǎn)學研緊密結合的模式,在PTC/NTC熱敏電阻、感應式數(shù)字液位傳感器和氣體傳感器等產(chǎn)業(yè)方面發(fā)展態(tài)勢良好。
四、MEMS產(chǎn)業(yè)鏈流程
MEMS是多學科交叉的復雜系統(tǒng),整個產(chǎn)業(yè)鏈涉及設計、制造、封裝測試、軟件及應方案環(huán)節(jié)。
MEMS產(chǎn)業(yè)鏈流程
五、全球MEMS供應鏈
MEMS整個產(chǎn)業(yè)鏈復雜,涉及的廠商眾多;中國的設計、制造、封裝測試廠商都在積極布局MEMS,已形成完整MEMS的產(chǎn)業(yè)鏈。
全球MEMS供應鏈
六、MEMS傳感器生產(chǎn)廠商
全球MEMS傳感器制造廠商如下:
羅伯特.博世
意法半導體(ST)
德州儀器
惠普
Qorvo
樓氏電子(Knowles)
應美盛(InvenSense)
DENSO
佳能
松下(Panasonic)
NXP—飛思卡爾(Freescale)
SENSATA
英飛凌(Infineon)
旭化成微電子(AKM )
亞德諾半導體(Analog Devices)
村田制作所(Murata)
AMPHENOL
霍尼韋爾(Honeywell)
瑞聲科技(AAC)
歌爾聲學-全球MEMS麥克風龍頭
ABB
PCB
Vishay
HBM
MEAS
飛利浦
漢威電子-國內(nèi)氣體傳感器龍頭
美新半導體(MEMSIC)(2016年7月被華燦光電收購)
北京青鳥元芯
華工科技-國內(nèi)家電溫度傳感器龍頭
中航電測-軍工MEMS龍頭
大立科技
昆侖海岸
高德紅外
科陸電子
瑞聲聲學
航天機電
廣陸數(shù)測
格科微電子
杭州麥樂克
華潤半導體
。。。。。。
MEMS傳感器種類繁多,主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風、環(huán)境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計。
1、MEMS運動傳感器
MEMS運動傳感器主要有加速度計、陀螺儀、磁力計三大類,加速度計和陀螺儀可以集成為六軸慣性傳感器;磁力計和加速度計集成為電子羅盤(e-compass),加速度計、陀螺儀和磁力計可集成為9軸傳感器。
MEMS陀螺儀是通過陀螺儀的核心原理科里奧利力測角速度的;MEMS加速度計可以感知任意方向上的加速度。MEMS磁力計通過測試磁場強度和方向可以定位設備的方位。
慣性傳感器(加速度計+陀螺儀)廠家有:意法半導體(ST)、旭化成微電子(AKM )、應美盛(InvenSense)、羅伯特.博世等。
電子羅盤(磁力計+加速度計)廠家有:旭化成微電子(AKM )、雅馬哈(Yamaha)、阿爾卑斯(Alps Electric)?、美新半導體(MEMSIC)(2016年7月被華燦光電收購)等。
2、MEMS麥克風
MEMS麥克風在消費電子、汽車、醫(yī)療等領域廣泛的應用。目前幾乎每部智能手機至少使用一個MEMS麥克風,高端的智能手機甚至使用三個麥克風,分別用于語音采集、噪音消除、改善語音識別,而iPhone 6S已經(jīng)采用了4個MEMS麥克風。在物聯(lián)網(wǎng)的時代,大量的物聯(lián)網(wǎng)設備也將使用MEMS麥克風。蘋果iPhone 5S和5C采用兩顆樓氏電子(Knowles)、一顆是瑞聲科技(AAC)的MEMS麥克風。
主流MEMS麥克風制造廠商有美國樓氏電子(Knowles)、江蘇瑞聲科技(AAC)、歌爾聲學、韓國BSE、意法半導體(ST)、美國應美盛(InvenSense)、日本Hosiden、Cirrus?Logic、無錫芯奧微、博世(BOSCH)、無錫美芯等。
3、MEMS壓力傳感器
壓力傳感器主要用于檢測壓力,根據(jù)量程范圍可分為低壓、中壓、高壓壓力傳感器。MEMS壓力傳感器則屬于低壓傳感器,主要檢測原理有硅電容式和硅壓阻式。
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主流MEMS壓力傳感器制造廠商有GE、博世(BOSCH)、歐姆龍(Omron)、飛思卡爾(Freescale)、亞德諾半導體(Analog?Devices)、菲爾斯特(Firstrate)、香港HKST、TDK-EPC、Silicon?Microstructures、Sensimed、敏芯微(MEMSensing)、華美澳通、北京青鳥元芯、中科院上海微系統(tǒng)所、無錫納微電子有限公司、上海芯敏微系統(tǒng)技術有限公司、Consensic、盾安環(huán)境等。
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汽車和醫(yī)療是MEMS壓力傳感器最大的應用領域。與MEMS慣性傳感器相比,目前MEMS壓力傳感器在消費電子與移動領域的應用不是特別廣泛,主要包括潛水與運動手表、計步器和徒步高度計,部分應用于飲水機、洗衣機、太陽能熱水器等家電產(chǎn)品充當水位傳感器。未來智能手機、平板電腦可能集成MEMS壓力傳感器用以檢測大氣壓,或充當高度計以支持室內(nèi)定位服務。
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4、MEMS環(huán)境傳感器
環(huán)境傳感器可細分為氣體、溫度和濕度傳感器等。
MEMS溫度傳感器可用于任何需要檢測溫度的地方。主要MEMS溫度傳感器供應商有博世(BOSCH)、Hygrometrix、德州儀器(TI)、瑞士盛思銳(Sensirion)、歐姆龍等。
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MEMS濕度傳感器在工業(yè)控制、氣象、農(nóng)業(yè)、礦山檢測等行業(yè)中得到了廣泛的應用。國內(nèi)外MEMS濕度傳感器供應商主要有博世(BOSCH)、意法半導體(ST)、MEMS?Vision、瑞士盛思銳(Sensirion)、精量電子(TE?Sensors)。
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MEMS氣體傳感器主要用于檢測目標氣體的成分、濃度等。國內(nèi)外主要MEMS氣體傳感器供應商有博世(BOSCH)、奧地利微電子(AMS)、Cambridge?CMOS Sensors(CCS)、瑞士盛思銳(Sensirion)、瑞士Micronas、美國Synkera、漢威電子、武漢微納傳感科技、煒盛科技,森斯特(北京)電子科技有限公司(Nenvitech)、深圳市戴維萊傳感技術開發(fā)有限公司、武漢四方光電科技有限公司、速麗德(Solidsense)、城市技術(CityTechnology)等。
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5、MEMS生物傳感器
MEMS生物傳感器目前處于發(fā)展初期。MEMS生物傳感器是利用生物分子探測生物反應信息的器件,被列為新世紀五大醫(yī)學檢驗技術之一,是現(xiàn)代生物技術與微電子學、化學等多學科交叉結合的產(chǎn)物。未來MEMS生物傳感器在醫(yī)學、食品工業(yè)、環(huán)境監(jiān)測等領域具有廣闊發(fā)展空間。
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七、MEMS代工
MEMS代工主要有兩種類型:IDM廠商提供的MEMS代工,獨立的代工廠提供的MEMS代工,其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發(fā)展迅速,獨立的MEMS代工廠努力尋求標準化的工藝以提升規(guī)模經(jīng)濟,減少制造時間和降低成本,使得獨立的MEMS代工廠快速成長,但目前IDM代工仍處于市場領導地位。
目前提供MEMS代工的IDM廠商主要有意法半導體、索尼、德州儀器等;臺積電目前是全球最大的獨立的MEMS代工廠,全球領先的純MEMS代工廠還有Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paci?c Microsystems、X-FAB 、Innovative Micro Technology等,國內(nèi)的中芯國際、華宏宏利、上海先進半導體也有生產(chǎn)MEMS的能力。
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八、MEMS封裝測試
目前具備MEMS封裝測試能力的國際廠商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技等,國內(nèi)有華天科技、長電科技、晶方科技等廠商。盡管國內(nèi)的MEMS前端制造還落后于國際大廠,由于國內(nèi)的封裝技術起步較早,國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈后端封裝較為完善。
封裝技術與IC封裝有著諸多不同,對企業(yè)的要求很高。眾所周知,MEMS器件價格下降非常之快,目前部分MEMS器件中封裝成本甚至占到總價格的40%到60%。如何做到低成本封裝是封測廠商面臨的巨大挑戰(zhàn)。
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九、MEMS傳感器幾大應用
可穿戴設備應用
以小米手環(huán)為例,就用到了ADI的MEMS加速度和心率傳感器來實現(xiàn)運動和心率監(jiān)測。
Apple Watch內(nèi)部除了MEMS加速度計、陀螺儀、MEMS麥克風,還有使用脈搏傳感器。
VR應用
VR設備需要足夠精確測定頭部轉(zhuǎn)動的速度、角度和距離,采用MEMS加速度計、陀螺儀和磁力計來進行測定是重要的解決方案之一,幾乎成為VR設備的標配。Oculus Rift、HTC Vive、PlayStation VR都采用了MEMS加速度計和陀螺儀,未來VR設備也可能會使用MEMS眼球追蹤技術。
無人機應用
無人機飛行姿態(tài)控制技術上,MEMS傳感器又有了施展的空間。結合加速度計和陀螺儀,可以算出角度變化,并確定位置和飛行姿態(tài)。MEMS傳感器能在各種惡劣條件正常工作,同時獲得高精度的輸出。MEMS加速度計和陀螺儀在無人機上的應用可謂是大放異彩。
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智能汽車應用
車聯(lián)網(wǎng)是物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的重大領域,智能汽車是車聯(lián)網(wǎng)的核心,正處于高速發(fā)展中。在智能汽車時代,主動安全技術成為備受關注的新興領域,需要改進現(xiàn)有的主動安全系統(tǒng),比如側(cè)翻(rollover)與穩(wěn)定性控制(ESC),這就需要MEMS加速度傳感器和角速度傳感器來感測車身姿態(tài)。語音將成為人與智能汽車的重要交互方式,MEMS麥克風將迎來發(fā)展新機遇。MEMS傳感器在汽車領域還有很多應用,包括安全氣囊(應用于正面防撞氣囊的高g值加速度計和用于側(cè)面氣囊的壓力傳感器)、汽車發(fā)動機(應用于檢測進氣量的進氣歧管絕對壓力傳感器和流量傳感器)等。
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自動駕駛應用
自動駕駛技術的興起,進一步推動了MEMS傳感器進入汽車。雖然GPS接收器可以計算自身位置和速度,但在GPS信號較差的地方(地下車庫、隧道)和信號受到干擾的時候,汽車的導航會受到影響,這對自動駕駛來說是致命的缺陷。利用MEMS陀螺儀和加速度計獲取速度和位置(角速度和角位置),車輛任何細微的動作和傾斜姿態(tài),都被轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號,通過總線,傳遞給行車電腦。即便在最快的車速狀態(tài)下,MEMS的精度和反應速度也能夠適應。得益于硅體微加工、晶片鍵合等技術的發(fā)展,精度已經(jīng)上升到0.01。
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工業(yè)應用
MEMS讓傳感器小型化、智能化,MEMS傳感器將在智慧工業(yè)時代大有可為。MEMS溫度、濕度傳感器可用于環(huán)境條件的檢測,MEMS加速度計可以用來監(jiān)測工業(yè)設備的振動和旋轉(zhuǎn)速度。高精度的MEMS加速度計和陀螺儀可以為工業(yè)機器人的導航和轉(zhuǎn)動提供精確的位置信息。
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